フッ素樹脂の使用量の大きなウェイトを占める分野に半導体やセンサーといった電子デバイスの製造装置があります。樹脂として耐熱性に優れ、化学的に安定であり、付着の軽減も図れ、何よりメタル溶出の少ない材料である為に採用されます。

しかし、フッ素樹脂単体では強度不足な場合にコーティング技術を採用することで強度も満足させ、さらにコーティング後に皮膜の機械加工を実施することにより、寸法精度の高い要素部品の製作を実現しています。

また、装置に利用されるロボットを起因とする汚染対策でもコーティング技術が利用されます。腐食環境で使用されるロボット部品の防食や、一般的なフッ素樹脂コーティングが難しいCFRP材質への特殊なフッ素樹脂コーティングなどです。